日本SMC真空發(fā)生器使用說明書

[單向閥]
●通過背壓防止液體回流
●帶O型密封圈、有*可動部分的*設計
●無彈簧結構通過二次側的振動、振盈或壓力波動來抑制發(fā)塵
[真空發(fā)生器]
●真空發(fā)生設備
●在交換儲氣瓶時，可釋放在配管中殘留的無用氣體
[流量開關]
●在給定的流量下，檢測出配管破裂而導致的過剩流量

AP70SMV4MV6FV4

字段描述字段取值取值描述
形式70小型·高
材質SSUS316L
配管連接進口N2通口MV41/4面密封接頭 外螺紋
配管連接排氣側MV63/8面密封接頭 外螺紋
配管連接真空側FV41/4面密封接頭 內螺紋

注意事項：

確認產(chǎn)品的安裝方向？請確認產(chǎn)品的安裝方向
帶有IN標志的是進口側，帶有OUT標志的是排氣側。僅箭頭所示的產(chǎn)品表示流體從入口側流向排氣側的方向。入口側和排氣側排成條直線。真空側是在與入口側和排氣側的方向垂直的方向上的端口，取決于產(chǎn)品，存在VAC標記。請檢查安裝方向并將其正確放置。
②配管，惰性氣體沖洗，清洗等惰性氣體沖洗，惰性氣體沖洗，惰性氣體沖洗，清洗等。連接產(chǎn)品后請連接產(chǎn)品？
如果管道中留有灰塵或水垢，可能會導致故障或故障。用惰性氣體以外的氣體沖洗是危險的，請不要這樣做。

請不要用裸手關節(jié)部和③系統(tǒng)產(chǎn)品的氣體接觸部分觸及？請不要用裸手使用脂和油觸摸各種部件的接合部和對照產(chǎn)品的氣體接觸部？此外，油脂和油，以控制產(chǎn)物的各部分請不要使用。請不要。
④密封開的包裝開密封包裝梱梱請在清潔的環(huán)境中進行，請在稀薄的環(huán)境，干凈的環(huán)境，請進行進行？
產(chǎn)品緊密封閉，雙重包裝在潔凈室。請在潔凈室或干凈的環(huán)境中打開內包裝。
⑤請確保維護空間？請確保維護空間？
請確保維護檢查所需的空間。
⑥根據(jù)用于管的連接管的工業(yè)標準焊接為焊接管接頭的接頭管接頭（見SEMI標準?F78），請通過焊接管道。事實動吹掃氣體，在形式態(tài)設備閥門有發(fā)展，焊接入口的事實 - 從出口側 - 側請通過從入口流動的吹掃氣體 - - 設備的側，焊接出口的事實設備的側。
⑦用于管連接的接頭請連接伙伴是提供種控制產(chǎn)品配件和面密封接頭（金屬墊片面密封型），用于將面部密封件的配管連接的管接頭的端面密封接頭的大小相同。
將墊圈放在接頭的頂端，擰緊螺母，然后用扳手轉動陰螺母1/8圈。請使用不銹鋼或鎳作墊片。
⑧將操作液連接到操作口。將操作流體連接到操作口。
對于具有空氣式閥門的設備，將操作液體連接到操作口。請使用氮氣或清潔空氣作為操作液。
⑨配管后請進行泄漏檢查，進行泄漏檢查，進行泄漏檢查。
根據(jù)用途，請進行氦泄漏測試，壓降測試，氣泡泄漏測試等的泄漏檢查。對于面密封配件和管道焊接接頭，建議按照標準（見SEMI標準F1）進行氦氣泄漏測試。

AP70SMV4MV6FV4
AR25K-F02BE4-1RZA-B
VX212AZ1J
AWM30-F03C-R
CP96SDB100-6
VNB212AS-F1-5D-B-Q
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
CD85N25-430-A-X2018
SS5V1-W16SA2WD-10BS-C6

日本SMC真空發(fā)生器使用說明書